更新時間:2024-07-04
半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)PS系列螺桿真空泵定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點:1、結(jié)構(gòu)簡單,故障率低,成本較低,易維修2、高壓段功耗相對低,適用于高負載應用場合3、排氣路徑短,減少反應物沉積適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產(chǎn)業(yè)、半導體面板業(yè)制程PS系列螺桿真空泵型號:PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802PD系列螺桿真
品牌 | 其他品牌 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
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泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
應用領域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,航天,電氣 |
半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)
PS系列螺桿真空泵
定螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點:
1、結(jié)構(gòu)簡單,故障率低,成本較低,易維修
2、高壓段功耗相對低,適用于高負載應用場合
3、排氣路徑短,減少反應物沉積
適用一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、太陽能產(chǎn)業(yè)、半導體面板業(yè)制程
PS系列螺桿真空泵型號:PS80、PS160、PS180、PS602、PS902、PS1302、PS1802
PD系列螺桿真空泵型號:PDF110,PD120,PD300,PD400,PD650,PD800,
高壓段抽速快
能耗可降低30%以上
氣冷馬達機型可搭配自循環(huán)冷卻系統(tǒng),能使用在無冷卻水的系統(tǒng)環(huán)境
可提供符合ATEX標準的產(chǎn)品
變螺距螺桿轉(zhuǎn)子特點:
1,運行溫度低,適用于要求泵體表面及排氣溫度低的場合。 2,運轉(zhuǎn)功耗低,適用于輕負載應用場合,更節(jié)能。 3,運行噪音更低,適用于運行噪音低的場合,如:貼合機,無塵室。
4,相同長度轉(zhuǎn)子,抽氣量更大。適用于大抽氣量的真空需求。
真空壓力:≤7.5*10-3 Torr
≤0.01 mbar
≤1 pa
漢鐘PS系列、PD系列維修
維修步驟:
1、螺桿泵來料檢驗,真空度、運行時間、振動值、驅(qū)動器、電氣參數(shù)。
2、全部拆卸,油污清潔,打磨。
3 、按“螺桿泵維修處理通知單"更換所必需的零件,如:軸承、軸套、套筒、密封圈、齒輪,以確保可靠的優(yōu)質(zhì)服務和泵浦使用壽命。
4、泵的平衡,利用平衡和分析設備,調(diào)試佳的狀態(tài),以減少噪音、振動,延長軸承壽命。
5、測試檢查,參照原廠參數(shù)檢測,結(jié)合客人實際要求與螺桿泵磨損
PMF半導體干凈系列
用途:Semi conductor,Load lock,TFT-LCD,Touch Panel,Solar,Coating,Plasma Process,Drying Process,Degassing
PMF系列型號有PMF100,PMF120,PMF612
半導體PS2002/PS2202漢鐘螺桿泵維修保養(yǎng)
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