更新時間:2024-07-04
leybold萊寶真空計TTR200NTHERMOVAC 變送器變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:? 真空鎖壓力控制? 一般真空壓力測量? 前級管道和粗抽壓力測量
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,電氣 |
leybold萊寶真空計TTR200NTHERMOVAC 變送器
TTR 200 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 毫巴至 1500 毫巴的較大測量范圍,基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量結(jié)果。
變送器配備 RS232 數(shù)字通信接口,可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實時壓力測量。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)。
每臺變送器在出廠前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外,每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。
變送器擁有三個機(jī)械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,用于獲取壓力讀數(shù),或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器含有兩個獨(dú)立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀,空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流,因此,傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴(kuò)散,氣體分子只到達(dá)熱元件,在此處可測量氣體的熱損耗。
壓電傳感器基于對硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測量。硅膜的一側(cè)暴露于環(huán)境壓力,另一側(cè)暴露于真空。
壓電傳感器可測量無關(guān)于氣體成分和濃度的真實差壓。
這兩個傳感器元件都極為堅固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
應(yīng)用
差分壓電傳感器將始終相對于環(huán)境壓力進(jìn)行精確的測量,不論環(huán)境條件如何改變。這使其成為以下高精度控制的理想備選:
- 真空鎖 (確保精確快速的排氣并防止真空鎖受到空氣污染)
- 相對于環(huán)境的腔室超壓和欠壓控制。
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
? 真空鎖壓力控制
? 一般真空壓力測量
? 前級管道和粗抽壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 質(zhì)譜儀控制
? 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)
? 系統(tǒng)過程控制
? 檢測異常壓力,利用設(shè)定點繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/p>
? 控制系統(tǒng)壓力
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