真空泵是一種能夠產(chǎn)生負(fù)壓或低壓的裝置，它通過(guò)改變氣體分子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，使氣體分子從高壓區(qū)域向低壓區(qū)域移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)抽氣的目的。在許多工業(yè)領(lǐng)域，真空泵都有著廣泛的應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造、真空干燥、真空蒸餾、真空鍍膜等。
真空泵的工作原理主要基于兩種物理現(xiàn)象：一種是液體蒸發(fā)和凝結(jié)，另一種是氣體擴(kuò)散和吸附。液體蒸發(fā)和凝結(jié)的原理是通過(guò)加熱液體使其蒸發(fā)，然后通過(guò)冷卻使蒸汽凝結(jié)成液體，從而達(dá)到抽氣的目的。氣體擴(kuò)散和吸附的原理是通過(guò)增加氣體的壓力，使氣體分子從高壓區(qū)域向低壓區(qū)域移動(dòng)，或者使氣體分子被吸附到固體表面，從而達(dá)到抽氣的目的。
真空泵的種類很多，根據(jù)其工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，主要可以分為以下幾類：機(jī)械泵、液環(huán)泵、噴射泵、離子泵和鈦升華泵。其中，機(jī)械泵是最常見(jiàn)的一種真空泵，它的工作原理是通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生負(fù)壓，從而抽氣。液環(huán)泵的工作原理是通過(guò)液體的離心力產(chǎn)生負(fù)壓，從而抽氣。噴射泵的工作原理是通過(guò)高速噴射的流體產(chǎn)生負(fù)壓，從而抽氣。離子泵的工作原理是通過(guò)電離氣體產(chǎn)生負(fù)壓，從而抽氣。鈦升華泵的工作原理是通過(guò)鈦的升華產(chǎn)生負(fù)壓，從而抽氣。
真空泵的應(yīng)用非常廣泛。在半導(dǎo)體制造中，真空泵主要用于抽取晶圓制造過(guò)程中產(chǎn)生的有害氣體和雜質(zhì)，以保證晶圓的質(zhì)量。在真空干燥中，真空泵主要用于抽取濕氣，以加快干燥速度。在真空蒸餾中，真空泵主要用于抽取不凝性氣體，以提高蒸餾效率。在真空鍍膜中，真空泵主要用于抽取空氣，以保證鍍膜的質(zhì)量。
